Применение ВЧ реактора для активирования азота при формировании структур Al2О3/Aln [Текст] / Б. А. Билалов, М. А. Гитикчиев, Г. Д. Кардашова // Мониторинг. Наука и технологии : Научно-технический журнал. - 2014. - N 1. - С. 43-44. - Библиогр. в конце ст. Кл.слова (ненормированные): нитрид алюминия -- сапфир -- азот Доп.точки доступа: Билалов, Б. А.; Гитикчиев, М. А.; Кардашова, Г. Д. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ЧЗОБИОАТ (1) Свободны: ЧЗОБИОАТ (1)