Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Билалов Б. А., Гитикчиев М. А., Кардашова Г. Д. Заглавие : Применение ВЧ реактора для активирования азота при формировании структур Al2О3/Aln Место публикации : Мониторинг. Наука и технологии: Научно-технический журнал. - Махачкала: ООО "ЦСМ ОС и ПР", 2014. - N 1. - С. 43-44 (Шифр М387253/2014/1) Примечания : Библиогр. в конце ст. Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нитрид алюминия--сапфир--азот Доп.точки доступа: Билалов, Б. А.; Гитикчиев, М. А.; Кардашова, Г. Д.